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共聚焦顯微鏡在化學機械拋光課題研究中的應用

更新時間:2023-09-19      點擊次數:545

兩個物體表面相互接觸即會產生相互作用力,研究具有相對運動的相互作用表面間的摩擦、潤滑與磨損及其三者之間關系即為摩擦學,目前摩擦學已涵蓋了化學機械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個細分研究方向,其研究的數值量級也涵蓋了亞納米到百微米的區間。摩擦本身是一種能量損耗現象,然而得到合理地利用也能產生巨大的正面效益,因此,準確地測定磨損量并進行精確的控制,是摩擦學研究中的一個重難點。

作為一家專業的微納3D形貌檢測儀器廠商,中圖儀器的SuperView系列光學3D表面輪廓儀已在國內各**高校從事化學機械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應用,因樣件多為超光滑拋光表面,采用光學3D表面輪廓儀較為合適,其中較為關鍵的粗糙度Sa和Ra等參數,能夠確保0.1nm的精度。而針對磨損區域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領域,采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配,其遠勝于光學3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能,能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測,從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數據。

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如下圖所示,為檢測生物摩擦課題中的樣件表面磨損區域的3D形貌圖像,其中心區域凹陷而在中心到上表面的邊緣處呈大坡度形態,因而在采用光學3D表面輪廓儀進行檢測時,會出現邊緣陡坡處3D圖像重建不完整、出現空白區域的問題,而使用共聚焦顯微鏡,則能夠輕松獲取完整的形貌數據與3D圖像。

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圖.磨損形貌

使用軟件的孔洞體積功能對圖像磨損區域進行處理與分析,能夠獲取準確的磨損區域深度、面積、體積等數值,從而對摩擦工藝參數與蝕坑形狀以及磨損量的相關性進行定量研究,實現對摩擦磨損的有效利用。

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圖.磨損體積

而在流體摩擦課題中,更多的是對工藝處理后在樣件表面形成的條狀凹槽進行輪廓分析,由于形成的凹槽較寬、深度也較大,這導致凹槽到兩側平面的坡面角度大、顏色黝黑、反射率低,也是一種較為適合使用共聚焦顯微來測量的形貌特征。如下圖所示,在完成測量后,通過提取一條過凹槽的剖面輪廓曲線并分析,就能夠獲得準確的槽深寬度數據,進一步定量地研究工藝參數與磨損量的關聯性。

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圖.流體摩擦表面形貌的截面輪廓

中圖儀器仍在摩擦學領域深耕細作,不斷地優化經典產品——SuperView系列光學3D表面輪廓儀,同時也推出新產品——VT6000系列共聚焦顯微鏡,以其更大的角度測量能力和更強的反射率適應性,共建顯微雙姝,構建高精度、大角度、低反射率的*方位測量能力,為該領域更多的客戶提供專業的解決方案與優質服務。
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