激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統測量手段難以實現的技術。

SJ6000激光干涉測量儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

在數控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據具體測量需求而選擇，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。廣泛應用于精密檢測儀器、機床、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、三坐標、機器人、精密機械設備等領域的線性測量。

測量機床直線度

測量機床偏擺角度

自動化設備精度測量

SJ6000激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。通過與不同的光學鏡組結合，還實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

注意事項

對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調轉向鏡

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量