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激光共聚焦光學(xué)顯微鏡

簡要描述:中圖儀器VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡采用全電動化設(shè)計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。主要用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:615

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

中圖儀器VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡采用全電動化設(shè)計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。


技術(shù)指標(biāo)

型號:VT6100

行程范圍:100*100*100mm

視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測量重復(fù)性(1σ):12nm

高度測量精度:± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率:0.5nm


寬度測量重復(fù)性(1σ):40nm

寬度測量精度:± 2%

寬度測量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

儀器重量:50kg

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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設(shè)備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能;

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;


應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。





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